公司簡(jiǎn)介
天津華海清科機(jī)電科技有限公司(簡(jiǎn)稱“華海清科”)是天津市政府與清華大學(xué)為促進(jìn)推動(dòng)我國(guó)化學(xué)機(jī)械拋光(簡(jiǎn)稱CMP)技術(shù)和設(shè)備產(chǎn)業(yè)化而合資成立的有限責(zé)任公司。公司座落于天津市津南區(qū)海河科技園內(nèi),公司從籌備到成立,得到了天津市各級(jí)政府和清華大學(xué)的全力支持。清華大學(xué)研發(fā)團(tuán)隊(duì)通過國(guó)家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路裝備與成套工藝”(簡(jiǎn)稱02專項(xiàng))項(xiàng)目“超低下壓力CMP系統(tǒng)研制及工藝開發(fā)”的實(shí)施,已掌握了超低下壓力CMP設(shè)備及工藝的關(guān)鍵技術(shù),并成功研制出國(guó)內(nèi)首臺(tái)用于銅制程拋光的300mm晶圓“干進(jìn)干出”CMP設(shè)備,初步具備產(chǎn)業(yè)化能力。
華海清科注冊(cè)資本6000萬元人民幣,公司擁有清華大學(xué)的CMP設(shè)備核心技術(shù)與骨干團(tuán)隊(duì),通過資源整合、人才引進(jìn),成為一家擁有自主核心技術(shù)和強(qiáng)大研究團(tuán)隊(duì)的高科技公司。華海清科將與清華大學(xué)繼續(xù)合作,并聯(lián)合中芯國(guó)際、上海集成電路研發(fā)中心等單位繼續(xù)承擔(dān)國(guó)家科技重大專項(xiàng)任務(wù),最終實(shí)現(xiàn)CMP設(shè)備與技術(shù)的國(guó)產(chǎn)化,逐步替代進(jìn)口設(shè)備,為實(shí)現(xiàn)我國(guó)集成電路制造裝備及工藝的國(guó)產(chǎn)化戰(zhàn)略做出貢獻(xiàn)。
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